Trước những năm 1930, về cơ bản chỉ có Đức và Pháp có thể sản xuất máy tạo oxy.Khi đó, máy tạo oxy (máy tạo oxy hấp phụ biến đổi áp suất) chỉ đáp ứng được nhu cầu hàn cắt các thiết bị sản xuất oxy và nitơ cần thiết cho ngành công nghiệp hóa chất.Việc sản xuất máy tạo oxy chủ yếu có quy mô vừa và nhỏ, công suất từ ​​2m3 / h đến 600m3 / h và khoảng 200 loại.Cácmáy tạo oxyQuy trình sử dụng là quy trình áp suất cao và áp suất trung bình.
Từ năm 1930 đến năm 1950, ngoài Đức và Pháp, các nước khác như Liên Xô, Nhật Bản, Mỹ, Anh cũng bắt đầu sản xuất máy tạo oxy.Trong thời kỳ này, với sự phát triển của sản xuất, lĩnh vực ứng dụng của máy tạo oxy (máy tạo oxy hấp phụ biến đổi áp suất) được mở rộng và thúc đẩy sự phát triển của máy tạo oxy lớn.Do nhu cầu điện và vật liệu kim loại để sản xuất 1 m3 ôxy trong máy tạo ôxy lớn cao hơn so với các máy tạo ôxy cỡ vừa và nhỏ, nên sự đa dạng của các loại máy tạo ôxy lớn đã tăng nhiều hơn từ năm 1930 đến năm 1950, chẳng hạn như 5000 m3 / h ở Tây Đức, 3600 m3 / h ở Liên Xô và 3000 m3 / h ở Nhật Bản.các quá trình được sử dụng tại thời điểm đó, ngoài áp suất cao và trung bình, bắt đầu sử dụng các quá trình áp suất cao và thấp.Năm 1932, lần đầu tiên Đức sử dụng máy tạo oxy trong ngành công nghiệp luyện kim và amoniac.
Sau năm 1950, ngoài các máy tạo oxy (máy tạo oxy hấp phụ biến đổi áp suất) được sản xuất ở các nước trên còn có Trung Quốc, Cộng hòa Séc, Đông Đức, Hunggari, Ý, ... (Trung Quốc phát triển muộn hơn, tất cả đều được làm lạnh sâu. ).
Do sự phát triển của công nghiệp thép, công nghiệp phân bón nitơ và công nghệ tên lửa, việc tiêu thụ oxy và nitơ tăng nhanh đã thúc đẩy sự phát triển quy mô lớn của máy tạo oxy.Kể từ năm 1957, các máy tạo oxy 10.000m3 / h lần lượt được giới thiệu.Từ năm 1967, theo thống kê chưa đầy đủ, có 87 máy tạo oxy lớn trên 20.000 m3 / h, máy lớn hơn 50.000 m3 / h, và máy lớn hơn đang được phát triển.
Trong 20 năm qua, chủng loại sản phẩm đã tăng lên nhanh chóng và dần dần hình thành một chuỗi.Ví dụ, máy tạo oxy lớn của Tây Đức Linde có 1000 ~ 40000m3 / h sản phẩm điển hình;Kobelco Nhật Bản có dòng OF;Hitachi Nhật Bản sản xuất tất cả các mô hình TO;Japan Oxygen có loại NR;Anh có sản phẩm loạt 50 ~ 1500 tấn / ngày.Đồng thời, các máy tạo oxy lớn về cơ bản sử dụng toàn bộ quy trình áp suất thấp.
Tóm lại, sự phát triển của máy tạo oxy (máy tạo oxy hấp phụ áp suất thay đổi) là một quá trình không hoàn hảo, và thiết bị đã phát triển từ quy mô vừa và nhỏ đến quy mô lớn.Quá trình này đã phát triển từ áp suất cao (200 atm), áp suất trung bình (50 atm) và áp suất cao và thấp đến áp suất thấp hoàn toàn (6 at xe đạp.